详细介绍:
GRISH 液态蜡
一种易清洗、环保型液态蜡,其拥有良好的流动性,可均匀涂布到工件上,质量稳定、无气泡杂质,适用于高精度的切削、研磨、抛光等制程。
根据加工工艺中温度要求的不同,本产品分为一般型和耐温型,型号分别为LW-NT-100和 LW-HT-100。
产品规格
项目
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一般型液态蜡 LW-NT-100
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耐温型液态蜡 LW-HT-100
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外观
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橘黄色~深褐色透明液体
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橘黄色~深褐色透明液体
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粘度(cps)
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20±5
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55±5
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固含量(%)
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38±2
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41±2
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软化温度(℃)
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89
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97
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耐受温度(℃)
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45~50
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55~60
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比重
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0.95±0.02
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0.95±0.02
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粘结力(2*2cm2)
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>20kgf/cm2
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>20kgf/cm2
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产品优势
耐温型液态蜡应用于对蓝宝石材料抛光温度要求严苛的环境,例如CMP带盘抛工艺,CMP过程中可承受50~60℃的高温。
产品使用说明
使用条件
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上蜡
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下蜡
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Wafer 表面温度
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陶瓷盘温度
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下蜡温度
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一般型
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70~80℃
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110~120℃
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100℃
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耐温型
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80~90℃
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130~140℃
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130℃
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注意事项
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开封后应尽快使用完毕
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保存及运输
1)置于阴凉处,避免日晒、雨淋,室温下保存。
2)保存期限:10个月。
3)常规包装为1L/瓶,可根据客户需要进行调整。
应用范围
蓝宝石衬底窗口片、LED芯片及半导体加工制程:应用在研磨、抛光制程中的蓝宝石、硅、碳化硅等基板与载具的贴合。
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